S500气体质量流量控制器/流量计

技术推广；技术服务；销售实验室专用设备、通用设备、金属制品、玻璃制品、塑料制品、化工产品（不含危险化学品）、不锈钢制品、电气设备、机械设备、电子元器件、电线电缆、计算机软件及辅助设备；软件开发。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

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公司信息

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联系人：李健
手机号： 18410986160
成立日期： 2011-11-24

商品详情

S500气体质量流量控制器/流量计
应用范围：
对气体进行有效控制的各行业皆可应用。尤以半导体、医药、化工、能源、真空镀膜、高校研究所应用较为广泛。

产品指标：
1.流量(N2) 10mL ~ 30L/min
2.阀门类型常闭电磁调节阀
3.控制范围 2% ~ F.S.
4.反应时间 1.5sec(T98)* (0~2%设定时，≤2.0sec) 50sccm 以下 2.5sec
5.精度 ±1%F.S.（≤10slm）；±1.5%F.S. （>10slm）
6.工作压差 5L/min 以下(50-300)kPa10L/min-30L/min(100-300)kPa
7.耐压 3MPa
8.漏率 1×10-8Pa·m3/s(He) ；金属密封1×10-11Pa·m3/s(He)
9.使用温度 (5~45)℃
10.密封材质 316L,PTFE,Viton
11.供电电源 ±15VDC(±5%);+15V<100mA,-15V<150mA；+11VDC ~ 25VDC
11.设定信号 (0 ~ 5)VDC 输入阻抗>1MΩ ；4~20mA,1~5V,0~5V
12.接头 D-SUB15,D-SUB9
13.重量 0.9kg
14.质保时间 1年
15.包装纸盒包装

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