转让光驰OTFC1300真空镀膜机

转让光驰OTFC1300真空镀膜机

日本原装光驰OTFC-1300MM带涉频源含安装镀膜机 光学机
1. 用途：此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AF+AS膜）型光学镀膜机，应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，运动模式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载能力大，可充分利用有效空间的真空镀膜室，是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵，扩散泵，管道和阀门组成。为了提高泵的流量，可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此，不仅在较短的时间内低压力以快速的工作循环的排气系统，还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征：磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备：配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性；用于防污膜（AS 膜）批量生产；防污膜（AS 膜）批量生产。
5.性能：达到压强7.0E-5Pa以下
6.配置参数：
型号 OTFC1300C OTFC1300DB
序列号 S0019 S0567
电子枪（双枪） JST-10F-2GUN JST-10F-2GUN
坩埚点数 24点+28点
旋转泵 VS2401
机械升压泵 EH500
扩散泵 冷冻U20P*2台 22寸*2台
冷冻机 无 Polycold PFC-670HC
离子枪（射频离子源） 有 无
光学观测（光控&精控） 有 有
基板加热 有 有
回转 中心回转 中心回转